Forschungsschwerpunkt am Institut für Angewandte Physik der TU Bergakademie Freiberg ist die Untersuchung und Integration neuer Materialien und Halbleiter für die Mikro- und Leistungselektronik. Durch die stetige Verringerung der Strukturgrößen und steigende Anforderungen an die Leistungsfähigkeit und Zuverlässigkeit von elektronischen Bauelementen, spielen die Grenzflächen zwischen Halbleiter und dielektrischen Schichten eine immer bedeutendere Rolle. Die elektrische Charakterisierung von Defekten an diesen Grenzflächen liefert einen wichtigen Beitrag zur Entwicklung moderner mikro- und nanoelektronischen Bauelemente. In einem industrienahen Drittmittelprojekt sollen neue Methoden zur Defektcharakterisierung entwickelt, an State-of-the-Art Bauelementen evaluiert und in die industrielle Anwendung transferiert werden.
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